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相似文献
 共查询到10条相似文献,搜索用时 343 毫秒
1.
以CH4为放电气体,利用电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP—PECVD)法制备了类金刚石薄膜,使用FTIR、AFM、台阶仪对薄膜进行了表征,并对薄膜的沉积过程进行了光谱诊断(OES).研究了射频功率和基底在放电腔体中的位置对薄膜表面粗糙度、沉积速率和硬度的影响.实验结果表明:A位置处薄膜粗糙度随着功率的增加先减小后增大,随着射频功率的升高,薄膜的硬度逐渐增大,沉积速率先增大后减小,而薄膜硬度和沉积速率都随着与线圈中心距离的增加而减小.光谱诊断结果显示,随着功率的升高,Iβ/Iα和CH的强度呈增大趋势.结合上述研究结果,分析了影响薄膜生长的多种因素.  相似文献   

2.
利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5 Pa,Ar/O2流量比为20∶0,溅射功率为250 W,膜厚为200 nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%.  相似文献   

3.
利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5Pa,Ar/O2 流量比为20:0,溅射功率为250W,膜厚为200nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%.  相似文献   

4.
利用超声冲击设备对EA4T车轴钢进行了表面强化处理.采利用金相显微镜和透射电镜表征了车轴钢表面结构的变化,并对超声冲击处理前后试样表面粗糙度和显微硬度进行了分析.结果表明:经超声冲击处理后,试样表面发生了剧烈的塑性变形,晶粒明显细化,显微硬度呈梯度化.随着超声冲击功率的增加,变形层厚度增加,粗糙度减小,表面硬度增大;与未经超声冲击处理的试样相比,在超声冲击功率180瓦作用下,表面粗糙度降低了6.5倍,试样的表面硬度提高了25%,变形层厚度大约为80μm.  相似文献   

5.
应力松弛是岩体节理面时效特性的重要组成部分,也是影响岩体工程长期稳定性的重要因素. 为研究不同粗糙度岩体节理面的应力松弛特性,并进一步探索节理面的应力松弛机理,选取Barton标准剖面为人工模拟节理面的表面形态,并用水泥砂浆浇筑成型;然后,对其进行了分级加载剪切应力松弛试验,研究了不同粗糙度节理面在不同初始应力水平下的应力松弛曲线及应力松弛速率曲线特征,给出了松弛应力与初始应力之间的关系,并结合试验现象分析了应力松弛的发生机理. 研究成果表明:随着初始松弛应力的升高,松弛应力先减小后增大,即岩体节理面应力松弛能力先减弱后增大,该现象与剪切过程中节理面的变形和裂隙发展有关,应力松弛是试验机为保持变形不变而不断调整,同时内部裂隙发育导致其内部抗力减小,进而引起应力下降的过程,并且粗糙度(JRC)越大,应力松弛能力越强.   相似文献   

6.
在销-盘摩擦磨损试验机上,测试了弹簧刚度、电流、滑动速度对浸金属碳/不锈钢对磨时的摩擦因数、磨损率及放电强弱的影响.试验结果表明,弹簧刚度、电流、滑动速度对摩擦副的摩擦因数有显著影响.载流时,销试样磨损率随着弹簧刚度的增加而先减小后增加;刚度一定时,磨损率随电流或滑动速度的增加而增大.与阳极相连的销试样以火花放电为主,与阴极相连的销试样以电弧放电为主,且放电的强弱与电流及滑动速度有关.  相似文献   

7.
针对目前水下探测设备在续航中出现的问题,本文设计了一种基于太阳能的海上电力补给装置,对其理论性能进行分析计算,制作出样机产品并进行了实际性能测试;计算结果表明,输出功率随着输入功率的升高而增大,但其增大的速度逐渐降低,能量传输效率随着输入功率的增加呈先增大后减小的趋势,在本装置设计条件下,理论计算的最大输出功率为80~90 W,能量传输最大效率为0.8~0.9;性能实验测试结果表明,装置正常运行,能点亮LED灯.  相似文献   

8.
基于ANSYS有限元分析软件,采用APDL语言实现高频感应加热成形中电-磁-热-力等多物理场耦合,建立了高频感应加热弯板的三维移动式有限元模型,并系统研究了高频感应加热弯板成形目标与工艺参数的关系。结果表明:加热功率较大时,钢板弯曲角度随着热源移动速度增加先增大再减小,而加热功率较小时钢板弯曲角度随着热源移动速度增加直线下降;钢板弯曲曲率半径随热源移动速度增加而增大,随加热功率增大而减小。最后分别建立了弯曲角度、曲率半径与加热功率和热源移动速度的函数关系式。  相似文献   

9.
基于应变控制的沥青混合料四点弯曲疲劳试验,研究了加载顺序和加载幅值对沥青混合料动态黏弹性参数的影响。结果表明:采用先低后高的加载顺序控制时,劲度在两阶段都会随着荷载作用次数的增加而减小,相位角在两阶段会随着荷载作用次数的增加而增加;采用先高后低的加载顺序时,低荷载阶段劲度的变化和相位角的变化会出现两种情况,当高低荷载较为接近时,低荷载阶段的劲度随着荷载作用次数的增加而减小,相位角随着荷载次数的增加而增大;当高低荷载的幅值相差较大时,低荷载阶段的劲度先增大后减小,相位角先减小后增大。通过相位角分别计算出疲劳试验中的黏性模量和弹性模量,揭示了先高后低顺序过程中低荷载阶段劲度先增大后减小和相位角先减小后增大是由于沥青混合料中弹性恢复引起的。  相似文献   

10.
为了分析研究多孔棉布-酚醛轴承保持架的应变速率敏感性,使用纳米压痕仪测量其在应变速率为0.01~ 0.05 s?1时的硬度和弹性模量,通过Kelvin-Voigt模型对材料的黏弹性进行分析,研究了材料在不同应变速率下的应变硬化效应和应变局部软化效应. 研究结果表明:随着应变速率提高,多孔棉布-酚醛材料的硬度和弹性模量先增加后减小;当应变速率从0.01 s?1增加到0.05 s?1,多孔棉布-酚醛材料硬度和弹性模量的增加与材料的应变硬化现象有关;当应变速率从0.05 s?1增加到0.30 s?1,蠕变位移显著增加,接触刚度快速降低,形变以热的形式消耗在压头与材料的接触界面,压头接触区材料从黏弹性向黏性转变,局部材料黏度降低,硬度和弹性模量快速减小;多孔棉布-酚醛的硬度和弹性模量随应变速率的变化是应变硬化效应和应变局部软化效应竞争的结果.   相似文献   

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