一种超高压力传感器感应元件结构设计

为了提高压力传感器承载的压力,提出了一种能够承载高压的结构和其是否满足寿命的准则;采用理论分析和试验研究相结合的方法,分析了承载压力与膜片厚度、内孔直径、孔膜片间倒角、头部大小之间的关系。结果表明:传感器所能承载的压力与多种元素有关,超高压力传感器能在全寿命内精确,精准、快速反应压力值,推荐膜片厚度大于1.3mm、半径倒角0.8mm、孔径为3.3mm的结构。密封方式采用金属对金属密封。