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1.
ZnO薄膜PLD过程的机理及实验研究
总被引:1,自引:0,他引:1
柯强
叶志清
《中国电动车》
2006,(12):454
讨论脉冲激光沉积原理,利用PLD在Si(001)衬底上生长ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)等测试手段研究了不同衬底温度所生长的ZnO薄膜结构特征和性能。研究表明:衬底温度影响ZnO薄膜结构和性能。在500℃ ̄600℃沉积范围内随着温度升高,ZnO薄膜结构和性能提高。
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