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介绍了ControlNet总线技术特点，并将其应用到FFU（风机过滤器单元）系统的控制网络中。实践表明，在FFU系统采用ControlNet总线控制技术，不仅提高了超净室环境参数的控制精度，还明显提高了FFU系统的可靠性和安全性。 相似文献
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