光化学蚀刻在增益发生器加工中的应用前景

增益发生器是化学激光器的关键部件之一。为了提高激光光束的质量和激光器的工作性能,本文从增益发生器的加工工艺出发,简单的介绍了传统工艺及其优势与劣势,在此基础上提出了光化学蚀刻与扩散焊结合的新工艺及其优势。重点总结了光蚀刻工艺效果的影响因素及其解决方案。     

喷淋蚀刻中不锈钢的侧蚀研究

对1Cr18Ni9Ti不锈钢板进行喷淋蚀刻,分析蚀刻深度h、蚀刻初始尺寸D、蚀刻速率、侧蚀率之间关系。实验结果表明,h0.4mm时,蚀刻深度、初始尺寸对蚀刻速率的影响不明显;h0.4mm、D0.5mm时,蚀刻速率随蚀刻深度的增加而减小,初始尺寸越小,减小趋势越明显;蚀刻深度与侧蚀率呈线性关系,而初始尺寸越大,蚀刻深度对侧蚀的影响就越小,并建立了三者之间的关系式。     

蚀刻液稳定性的研究

为了得到更好的蚀刻效果,研究蚀刻液的稳定性具有必要性,其实验研究方法显得尤为重要。采用原子发射光谱法得出蚀刻液中Ni2+浓度,间接计算出腐蚀量的数据采集方法,研究了3组不同成分浓度蚀刻液的稳定性,将考察蚀刻速率—腐蚀量的关系与蚀刻速率—时间的关系这2种方法进行了对比实验。实验结果证明:通过蚀刻速率—腐蚀量的关系来考察蚀刻液的稳定性具有可行性和优越性;同时得到,3种蚀刻液中,1B42稳定性最好,且该蚀刻液的最大金属腐蚀量为3g/L。