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采用反应磁控溅射法沉积了一系列不同 W 含量的 ZrAlWN 复合膜,利用扫描电子显微镜、X 射线衍射仪、纳米压痕仪和摩擦磨损仪研究了复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能。研究表明,当 W 的原子百分含量小于30.19%时, ZrAlWN 薄膜与 ZrAlN 薄膜微结构相似,为 fcc - ZrAlWN + hcp - AlN 两相共存;当 W 的原子百分含量在30.19%~36.05%时,AlN(110)衍射峰消失,薄膜中出现了 fcc - W2 N(111)和(200)衍射峰,此时薄膜为 fcc - ZrAlWN + fcc - W2 N 结构;随着W 的含量进一步升高,薄膜出现 fcc - W(200)衍射峰,此时薄膜为 fcc - ZrAlWN + fcc - W2 N + fcc - W 三相共存。随着 W含量的增加,复合膜的硬度先增大后减小,当 W 的原子百分含量为30.19%时,硬度高达26.70 GPa.常温下,随 W 含量的增加,复合膜的摩擦系数先升高后降低,但磨损率逐渐减小;高温下,复合膜的摩擦系数随着温度的升高先增大后减小,当温度为700℃时,摩擦系数为0.51.文中还讨论了不同温度下 ZrAlWN 薄膜的摩擦机理.  相似文献   
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