| 高纯六氟化钨的分析方法综述 |
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| 引用本文： | 郑秋艳,纪振红,王占卫,李翔宇.高纯六氟化钨的分析方法综述[J].舰船防化,2008(5). |
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| 作者姓名： | 郑秋艳 纪振红 王占卫 李翔宇 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
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| 摘 要： | 本文介绍了六氟化钨的性质、应用及目前的发展状况,针对六氟化钨区别于其它电子气体的特殊性质,综述了对其中所含气体杂质和金属粒子的分析方法。六氟化钨中的气体杂质主要包括:四氟化碳、四氟化硅、二氧化碳、六氟化硫、氧气、氮气和一氧化碳,采用加反吹系统的气相色谱法进行分析;氟化氢杂质用傅立叶红外光谱进行分析;六氟化钨中的金属粒子主要有钙、钾、铁、铜和铬等,可以采用原子发射光谱法、原子吸收光谱法和电感耦合等离子质谱法进行测定。
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| 关 键 词： | 六氟化钨 分析 气相色谱 傅立叶红外光谱 |
Analytical Method of High Purity Tungsten Hexafluoride |
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| Zheng Qiu-yan,Ji Zhen-hong,Wang Zhan-wei,Li Xiang-yu.Analytical Method of High Purity Tungsten Hexafluoride[J].Chemical Defence on Ships,2008(5). |
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| Authors: | Zheng Qiu-yan Ji Zhen-hong Wang Zhan-wei Li Xiang-yu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Tungsten hexafluoride Analyse Gas chromatographic FTIR |
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