| 基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制 |
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| 引用本文： | 周文和,刘倩,王良璧,任学昌,王良辰,常青.基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制[J].兰州铁道学院学报,2009,28(4):78-81. |
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| 作者姓名： | 周文和 刘倩 王良璧 任学昌 王良辰 常青 |
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| 作者单位： | 周文和,任学昌,常青(兰州交通大学环境与市政工程学院,甘肃兰州,730070);刘倩,王良璧(兰州交通大学机电与动力工程学院,甘肃兰州,730070);王良辰(兰州交通大学化学与生物工程学院,甘肃兰州,730070) |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计剐(863计划) |
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| 摘 要： | 以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构.
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 湿度传感器 电容式传感器 |
Research on Capacitive Humidity Sensor Based on Polyimide |
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