载体热催化气敏元件制造工艺研究

本文以制造甲烷传感器为例，详细剖析了载体热催化气敏元件的制造工艺，分析了各工序关键技术，提出了影传感器灵敏度，稳定性，选择性等技术指标的主要因素，并结合实际工作经验对传统制造工艺提出了改进意见。