|
|||||
|
|
| 基于形态学探针重建算法的光栅常数评定 | |
| 作者单位： | 湖北汽车工业学院 精密测量技术研究所,湖北 十堰 442002 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队项目;湖北省自然科学基金;湖北省教育厅科学技术研究项目 |
| 摘 要： | 为了消除原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)在测量光栅常数时探针和噪声造成的光栅常数评定误差,利用MATLAB对不同形状参数的探针扫描图像进行仿真。分析了探针结构对扫描结果的影响,提出基于形态学探针重建算法评定光栅常数,通过标定方式和改进Garcia探针模型进行形态学探针重建来消除探针和噪声误差。实验结果表明:该算法提高了实际AFM测量光栅常数的精确度。 |
| 关 键 词： | 光栅常数 AFM 探针重建算法 形态学 MATLAB |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |