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| 氟里昂气体传感器的研究 | |
| 作者姓名： | 郭向京 |
| 摘 要： | 半导体气体敏感元件具有体积小,灵敏度高,响应和恢复时间短,选择性较好且成本低,检测线路简单等优点,我们对氟里昂半导体气体传感器进行了研究。本文阐述了该传感器的原理,制作工艺,检测方法并对其测度的参数数据进行了讨论. |
| 关 键 词： | 半导体 气体敏感元件 灵敏度 线性 一致性 氟里昂 气体传感器 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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