神经网络在薄膜厚度控制系统中的应用

讨论了薄膜厚度控制的非线性和耦合性，应用神经网络申行解耦算法，解决多变量非线性耦合问题，同时还采用了改进的学习算法——动量法，并与传统算法做了仿真比较。仿真结果表明该算法能较好地解决上述难点，从而更好的控制薄膜厚度的均匀性。