表面分析技术有哪些？

表面科学是上世纪60年代后期发展起来的一门学科。表面是指固体表面几个原子的薄层。这层原子既受体内原子的束缚，又受到表面特殊环境的影响。表面成分、结构、化学状态等与体内不同，而表面特性对材料的物理、化学等性能影响很大。表面分析就是对固体最外层数个纳米内表面及薄层的组分、结构和能态的分析。随着人们对表面分析的需要以及真空、电了技术的发展，现代表面分析技术有扫锚电镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）、俄歇能谱（AES）、离子探针（IMA）、电子探针（EPMA）等。