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退火温度对溶胶-凝胶法制备(Na,Mg):ZnO薄膜特性的影响
引用本文:张彩珍,刘肃,王永顺,陈永刚.退火温度对溶胶-凝胶法制备(Na,Mg):ZnO薄膜特性的影响[J].兰州铁道学院学报,2010,29(3):156-158.
作者姓名:张彩珍  刘肃  王永顺  陈永刚
作者单位:张彩珍(兰州交通大学电子与信息工程学院,甘肃,兰州,730070;兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000);刘肃(兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000);王永顺(兰州交通大学电子与信息工程学院,甘肃,兰州,730070);陈永刚(兰州交通大学,自动化与电气工程学院,甘肃,兰州,730070) 
摘    要:利用溶胶-凝胶法制备了具有良好表面形貌及c轴择优取向性的(Na,Mg):ZnO薄膜.重点研究了退火温度对薄膜结构性质的影响.扫描电子显微镜(SEM)图像及X射线衍射(XRD)图谱表明退火温度过高或过低都不利于薄膜良好表面形貌的形成及c轴择优取向生长.在一定范围内退火温度的升高,会使薄膜晶粒尺寸逐渐增大,薄膜表面形貌及c轴择优取向性得到改善,560℃为实验条件下的最佳退火温度.样品的荧光光致发光(PL)谱表明经560℃退火后的(Na,Mg):ZnO薄膜具有很少的缺陷及较高的结晶质量,是良好的紫外发光材料.

关 键 词:溶胶-凝胶  薄膜

Effects of Post-annealing Temperature on Properties of(Na,Mg):ZnO Thin Films Derived by Sol-Gel Method
Abstract:
Keywords:SEM  PL
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