退火温度对溶胶-凝胶法制备(Na,Mg):ZnO薄膜特性的影响 |
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引用本文: | 张彩珍,刘肃,王永顺,陈永刚. 退火温度对溶胶-凝胶法制备(Na,Mg):ZnO薄膜特性的影响[J]. 兰州交通大学学报, 2010, 29(3): 156-158 |
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作者姓名: | 张彩珍 刘肃 王永顺 陈永刚 |
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作者单位: | 张彩珍(兰州交通大学电子与信息工程学院,甘肃,兰州,730070;兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000);刘肃(兰州大学,物理科学与技术学院,甘肃,兰州,730000);王永顺(兰州交通大学电子与信息工程学院,甘肃,兰州,730070);陈永刚(兰州交通大学,自动化与电气工程学院,甘肃,兰州,730070) |
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摘 要: | 利用溶胶-凝胶法制备了具有良好表面形貌及c轴择优取向性的(Na,Mg):ZnO薄膜.重点研究了退火温度对薄膜结构性质的影响.扫描电子显微镜(SEM)图像及X射线衍射(XRD)图谱表明退火温度过高或过低都不利于薄膜良好表面形貌的形成及c轴择优取向生长.在一定范围内退火温度的升高,会使薄膜晶粒尺寸逐渐增大,薄膜表面形貌及c轴择优取向性得到改善,560℃为实验条件下的最佳退火温度.样品的荧光光致发光(PL)谱表明经560℃退火后的(Na,Mg):ZnO薄膜具有很少的缺陷及较高的结晶质量,是良好的紫外发光材料.
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关 键 词: | 溶胶-凝胶 薄膜 |
Effects of Post-annealing Temperature on Properties of(Na,Mg):ZnO Thin Films Derived by Sol-Gel Method |
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Abstract: | |
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Keywords: | SEM PL |
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