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特种气体的分离技术
引用本文:付嫚,高世选,宋海华.特种气体的分离技术[J].舰船防化,2003(3):15-21.
作者姓名:付嫚  高世选  宋海华
摘    要:本文主要介绍了特种气体的三种分离技术:精馏法、吸附分离法和膜分离法。并分别介绍了这三种方法的分离原理,优缺点及适用范围。文章中还提到制约这三种分离方法发展的条件及解决方法,并给出了这三种分离方法的发展趋势。

关 键 词:特种气体  精馏法  吸附分离法  膜分离法  集成电路  纯度
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