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高纯六氟化钨的生产工艺综述
引用本文:柳彤,王少波,李本东,李绍波.高纯六氟化钨的生产工艺综述[J].舰船防化,2007(3):16-20.
作者姓名:柳彤  王少波  李本东  李绍波
作者单位:中国船舶重工集团公司第七一八研究所,中国船舶重工集团公司第七一八研究所,中国船舶重工集团公司第七一八研究所,中国船舶重工集团公司第七一八研究所 河北邯郸,056027,河北邯郸,056027,河北邯郸,056027,河北邯郸,056027
摘    要:六氟化钨在电子工业中有着广阔的应用前景,本文介绍了目前工业化生产高纯六氟化钨(WF6)的方法,六氟化钨的质量标准及分析检测方法等方面的内容,概述了六氟化钨的发展前景。

关 键 词:六氟化钨  合成  纯化  分析

Production Process of High Purity Tungsten Hexafluoride
Liu Tong,Wang Shao-bo,Li Ben-dong,Li Shao-bo.Production Process of High Purity Tungsten Hexafluoride[J].Chemical Defence on Ships,2007(3):16-20.
Authors:Liu Tong  Wang Shao-bo  Li Ben-dong  Li Shao-bo
Institution:the 718th Research Institute of CSIC, Handan 056027, China
Abstract:Tungsten hexafluoride has a far-ranging application in the electronic industry. The method of industrialized production of tungsten hexafluoride at present,quality standard of tungsten hexafluoride and analysis technique of tungsten hexafluoride are presented and the promising development of tungsten hexafluoride is also summarized.
Keywords:Tungsten hexafluoride  Synthesize  Purification  Analysis
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