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| 汽车MEMS传感器的发展现状和未来趋势 | |
| 作者姓名： | 许冀阳 榆林 |
| 作者单位： | 1. 长安大学汽车学院 2. 陕西华电榆煤电有限责任公司 |
| 摘 要： | 微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)简称MEMS,是利用微系统设计、微细加工、微型机械组装和封装技术、微系统的表征和测试技术,及微电子技术和微加工技术(包括硅表面和硅体微加工、化学腐蚀或集成电路工艺LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种高性价比、微型化、集成化、智能化的传感器、执行器、驱动器和微系统,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技学科. |
| 关 键 词： | MEMS传感器 汽车传感器 MEMS技术 新型传感器 压力传感器 微机械陀螺 加速度计 发展趋势 |
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