| 电子特种气体及我国发展现状 |
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| 引用本文： | 付嫚,董露荣,于伟,隋希平.电子特种气体及我国发展现状[J].舰船防化,2006(4):40-42. |
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| 作者姓名： | 付嫚 董露荣 于伟 隋希平 |
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| 作者单位： | 第七一八研究所 河北邯郸056027 |
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| 摘 要： | 本文研究了电子特种气体的种类、纯度以及在半导体工业中的应用状况,从技术上讨论了电子特种气体的纯净度对半导体工业的影响。结合国内电子特种气体的市场综述了国内电子特种气体的生产厂家及其现状,指出了国内电子特种气体产业存在的问题以及我国电子特种气体产业的发展前景。
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| 关 键 词： | 电子气体 MO 源材料 纯净度 |
The Electronic Special Gas and its Actuality of China |
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| Fu Man,Dong Lu-rong,Yu Wei,Sui Xi-ping.The Electronic Special Gas and its Actuality of China[J].Chemical Defence on Ships,2006(4):40-42. |
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| Authors: | Fu Man Dong Lu-rong Yu Wei Sui Xi-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Electronic gas MO origin matter Purification degree |
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