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| 物理气相沉积 | |
| 引用本文： | 孙颢.物理气相沉积[J].铁道机车车辆工人,2007(1):31-32. |
| 作者姓名： | 孙颢 |
| 摘 要： | 溅射是一个物理气相沉积(PVD)的过程。在这一过程中,被高压电加速的气体离子轰击目标靶,将目标靶的物质转移到工件上。入射离子轰击到目标靶上,目标靶上的原子吸收入射离子的能量被激发。这些被激发的粒子穿过真空室沉淀在工件上,见图1。图1物理气相沉积工作原理示意在最简单的 |
| 关 键 词： | 物理气相沉积 离子轰击 入射离子 物质转移 原子吸收 高压电 真空室 工件 |
| 文章编号： | 1007-6042（2007）01-0031-01 |
| 收稿时间： | 2006-10-26 |
| 修稿时间： | 2006年10月26 |
Application of PVD |
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| Keywords: | |
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