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| 基于磁控溅射靶的磁场分布优化 | |
| 引用本文： | 石晓倩,于荣环,乌云额尔德尼,臧侃,郭方准.基于磁控溅射靶的磁场分布优化[J].大连交通大学学报,2019,40(4). |
| 作者姓名： | 石晓倩 于荣环 乌云额尔德尼 臧侃 郭方准 |
| 作者单位： | 大连交通大学 机械工程学院,辽宁 大连,116028;大连交通大学 机械工程学院,辽宁 大连,116028;大连交通大学 机械工程学院,辽宁 大连,116028;大连交通大学 机械工程学院,辽宁 大连,116028;大连交通大学 机械工程学院,辽宁 大连,116028 |
| 基金项目： | 辽宁省教育厅高等学校科学研究计划资助项目;辽宁省"百千万人才工程"培养经费资助项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 磁控溅射 辉光放电 磁场强度分布 薄膜 |
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