|
|||||
|
|
| 表面形貌的全息式非接触光学测量方法 | |
| 引用本文： | 王晓飞,罗鸿逵.表面形貌的全息式非接触光学测量方法[J].北方交通大学学报,1998,22(4):79-82. |
| 作者姓名： | 王晓飞 罗鸿逵 |
| 作者单位： | [1]北方交通大学电子信息工程学院 [2]机械与电气工程学院 |
| 摘 要： | 讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法。此方法采用全息光学元件ＨＯＥ替代普通光学元件，作为离焦检测元件，提高了测量精度和范围。 |
| 关 键 词： | 表面形貌 全息光学元件 非接触光学测量 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |