| 离子镀TiN膜及其摩擦状态转化特性的研究 |
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| 引用本文： | 刘捍卫,陈元儒.离子镀TiN膜及其摩擦状态转化特性的研究[J].西南交通大学学报,1994,29(2):150-154. |
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| 作者姓名： | 刘捍卫 陈元儒 |
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| 作者单位： | 西南交通大学材料工程系 |
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| 基金项目： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助 |
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| 摘 要： | 用热阴极离子镀制成ＴｉＮ膜，膜厚约３μｍ。用ＸＰＳ和ＸＲＤ分析膜的价态和结构表明：膜表层ＴｉＯ２含量较高，ＴｉＮ含较低。膜内主要由ＴｉＮ相构成，有较强择优取向。膜与衬底结合力强，其临界载荷达３５Ｎ，ＴｉＮ膜具有较高的显微硬度，较低的摩擦系数和很好的抗磨性能。在球一盘式摩磨损试验机上，采用阶梯加载方式，测定了润滑条件下ＧＣｒ１５钢／ＴｉＮ膜滑动摩擦副的临界载荷－速度（ｐ－ｖ）图，分析了其摩擦状态转化
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| 关 键 词： | 滑动摩擦 氮化钛膜 氧化膜 离子镀 |
TiN Film Formed PVD and Its Properties of the Transition of Friction State |
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| Liu Hanwei,Chen Yuanru.TiN Film Formed PVD and Its Properties of the Transition of Friction State[J].Journal of Southwest Jiaotong University,1994,29(2):150-154. |
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| Authors: | Liu Hanwei Chen Yuanru |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sliding friction TiN film oxide film |
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