| Sol-Gel提拉法制备ZAO薄膜及其光电性能 |
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| 引用本文： | 李海峰,沈长斌,薛钰芝.Sol-Gel提拉法制备ZAO薄膜及其光电性能[J].大连交通大学学报,2009,30(1). |
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| 作者姓名： | 李海峰 沈长斌 薛钰芝 |
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| 作者单位： | 大连交通大学,材料科学与工程学院,辽宁,大连,116028 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)浸渍提拉法(基于组装的小型提拉装置)在普通玻璃片上制备出ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较.结果表明:Al3+浓度为1.0%的ZAO薄膜表面最为致密均匀;随着退火温度的提高,薄膜的晶体平均粒径明显增大,电阻率逐渐减小;不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70%以上,当Al3+浓度为1.5%时,550℃退火2h,电阻率最小,为5.9×10-2Ω*cm.
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| 关 键 词： | 提拉法 ZAO薄膜 电阻率 透光率 |
Preparation and Properties of Sol-Gel ZAO Thin Films |
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| LI Hai-Feng,SHEN Chang-Bin,XUE Yu-Zhi.Preparation and Properties of Sol-Gel ZAO Thin Films[J].Journal of Dalian Jiaotong University,2009,30(1). |
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| Authors: | LI Hai-Feng SHEN Chang-Bin XUE Yu-Zhi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-Gel |
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