| 光针式表面测量系统的研究 |
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| 引用本文： | 叶仲新,陈育荣.光针式表面测量系统的研究[J].湖北汽车工业学院学报,2009,23(4):40-43. |
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| 作者姓名： | 叶仲新 陈育荣 |
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| 作者单位： | 湖北汽车工业学院,机械工程系,湖北,十堰,442002 |
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| 摘 要： | 提出了基于垂直扫描伺服工作台的光针式表面测量方法.阐述了光学探针法的工作原理,光针式表面测量系统中垂直扫描伺服工作台的结构特征工作原理、信号采集与处理过程,以及该系统的相关技术指标.
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| 关 键 词： | 表面测量 光针法 聚焦伺服 压电陶瓷 |
Research of Optical Stylus Surface Measurement System |
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| Ye Zhongxin,Chen Yurong.Research of Optical Stylus Surface Measurement System[J].Journal of Hubei Automotive Industries Institute,2009,23(4):40-43. |
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| Authors: | Ye Zhongxin Chen Yurong |
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