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基于波动光学的光针式位移传感器的光学模型分析
引用本文:陈育荣,王镇,黎新.基于波动光学的光针式位移传感器的光学模型分析[J].湖北汽车工业学院学报,2008,22(4):26-28.
作者姓名:陈育荣  王镇  黎新
作者单位:湖北汽车工业学院,湖北,十堰,442002
基金项目:国家自然科学基金资助项目 , 湖北省教育厅重点项目  
摘    要:介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理,运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论分析,并运用Matlab进行了仿真实验。

关 键 词:波动光学  光针法  位移传感器

Optical Model Analysis of Optical Stylus Displacement Sensor Based on Wave Optics
Chen Yurong,Wang Zhen,Li Xin.Optical Model Analysis of Optical Stylus Displacement Sensor Based on Wave Optics[J].Journal of Hubei Automotive Industries Institute,2008,22(4):26-28.
Authors:Chen Yurong  Wang Zhen  Li Xin
Institution:(Hubei Automotive Industries Institute, Shiyan 442002, China)
Abstract:An optical stylus displacement sensor, which can be applied in engineering surface measurement, based on Foucauh focus detection method is presented. The optical model of the displacement sensor is analyzed with wave optics theory, and simulation experiment with Matlab is applied.
Keywords:wave optics  optical stylus method  displacement sensor
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