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银烧结技术在压接型IGBT器件中的应用
作者单位:株洲中车时代半导体有限公司,湖南株洲 412001;新型功率半导体器件国家重点实验室,湖南株洲 412001
摘    要:银烧结技术具有低温连接、低热阻、低应力和高熔点等特点,已成为保证绝缘栅双极型晶体管(IGBT)界面连接的可靠性应用技术。文章分析了银烧结技术工艺和引入银烧结技术的压接型IGBT器件结构组成;利用有限元方法对比分析了银烧结子单元和焊接子单元封装的2种压接型IGBT器件热阻差异;通过压降参数、压力均匀性、热阻特性和长周期功率循环界面可靠性这4个维度对比了银烧结IGBT器件和常规焊接IGBT器件的特性差异。实际应用证明,引入银烧结技术的压接型IGBT器件,其可靠性得到了大幅度提升。

关 键 词:银烧结技术  压接型IGBT  可靠性  有限元方法
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