压是陶瓷致动补偿式空气支承系统的研究

基于现代控制理论，提出了一种新型空气支承，不改变供气压力，利用压电陶瓷（PZT）的伸缩量来补偿空气膜厚随外部干扰的变化对支承精影响，在建立理论模型的基础上，介绍了二维自由度控制器的优化设计方法，对主动空气支承系统的动态特性进行了分析研究，该系统具有精度高，响应速度快，抗干扰能力强的特点，其应用领域相当广泛。