| PVD轴瓦溅射工艺研究 |
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| 引用本文： | 吴文俊.PVD轴瓦溅射工艺研究[J].舰船科学技术,2010,32(8):182-184,189. |
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| 作者姓名： | 吴文俊 |
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| 作者单位： | 重庆跃进机械厂有限公司,重庆,402169 |
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| 摘 要： | 研究目的是为进口柴油机的国产化提供磁控溅射的PVD轴瓦。PVD(Physical Vapor Deposition物理气相沉积)轴瓦属于第四代轴瓦,其特点是用磁控溅射的方法在轴瓦基材的内表面上生成镍栅层(阻挡层)和具有优异性能的铝合金减摩层(跑合层、滑动层),这是研制PVD轴瓦的重点和难点。通过反复试验,得出了影响溅射膜层附着强度、沉积速度、维氏硬度、减摩层断面微观形貌等性能的有关参数的优化值并确定了工艺流程。铝合金减摩层的组分含量、附着强度、维氏硬度等性能达到或优于图纸要求。铝合金减摩层断面微观形貌及软锡(Sn)相颗粒直径和分布状态等性能达到外同类产品或文献报道的水平。
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| 关 键 词： | PVD轴瓦 磁控溅射 偏压 溅射膜层 栅层 减摩层 |
Sputtering technologic disquisition for PVD half bearing |
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| WU Wen-jun.Sputtering technologic disquisition for PVD half bearing[J].Ship Science and Technology,2010,32(8):182-184,189. |
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| Authors: | WU Wen-jun |
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| Keywords: | |
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