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| 单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真 | |
| 引用本文： | 薛,南 张国军 等.单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真[J].舰船科学技术,2014(4):78-81. |
| 作者姓名： | 薛 南 张国军 |
| 作者单位： | ;1.中北大学电子测试技术重点实验室;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性、宽频带的迫切要求,设计了2×2单片集成阵列式MEMS矢量水听器。矢量水听器单片集成阵列化可以提高水听器一致性,大幅度降低水听器的制造成本。在理论分析的基础上,通过Ansys软件完成对阵列微敏感结构机械特性和频率特性的仿真,确定压阻惠斯通电桥的布置及连接方式。对于水听器的研究和应用有重要意义。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 矢量水听器 Ansys仿真 |
Design and simulation of array type MEMS vector hydrophone on a chip |
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