| 高精度巨磁阻传感器设计 |
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| 引用本文： | 滕国生,徐杰.高精度巨磁阻传感器设计[J].舰船科学技术,2010,32(9). |
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| 作者姓名： | 滕国生 徐杰 |
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| 作者单位： | 海军装备部驻桂林地区军事代表室,广西桂林,541002 |
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| 摘 要： | 巨磁阻传感器预计将实现极高的灵敏度。采用优化传感器结构的方法,通过有限元分析,获得高信号噪声比。当带传感器的最佳尺寸为:厚4.3μm,带宽20～30μm,长数mm,曲流传感器元件CoNbZr(厚4.3μm,长5μm,宽30 mm,圈数为3)采用特殊工序建造,在几百MHz时,得到变化超过200%的高阻抗,尤其在501 kHz时,获得1.7×10-8Oe/Hz1/2的磁场分辨率。
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| 关 键 词： | 磁场 传感器 集肤效应 有限元分析 |
A design of highly sensitive GMI sensor |
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| TENG Guo-sheng,XU Jie.A design of highly sensitive GMI sensor[J].Ship Science and Technology,2010,32(9). |
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| Authors: | TENG Guo-sheng XU Jie |
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