MEMS微镜有限元仿真及减振结构设计

MEMS微镜由于体积小、重量轻等特点已应用于车载雷达之中。本文对MEMS微镜进行有限元仿真,找出微镜的共振频率点及其薄弱环节,确定其工作强度及是否满足车规要求。并针对微镜的薄弱位置进行减振结构设计,增强MEMS微镜抵抗外界振动和冲击的能力,为微镜作为车载雷达的应用提供一种可行的设计。