SEMI C3．39-0999三氟化氮（NF3）标准

本标准是由世界(国际)气体委员会全体委员技术审查并由北美气体委员会直接负责。本(现行)版是由北美区域标准委员会于1998年10月18日批准，它最早能够在1998年8月www．semi．org上得到，计划于1999年9月出版。原版于1989年出版，再版于1996年。