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相似文献
 共查询到10条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。  相似文献   

2.
基于波动光学的光针式位移传感器的光学模型分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理,运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论分析,并运用Matlab进行了仿真实验。  相似文献   

3.
研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。  相似文献   

4.
使用微晶振的扫描近场声显微镜研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。其原理是利用谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统,测量时垂直分辨率可达到纳米级。  相似文献   

5.
针对伺服阀控非对称液压缸系统存在的非线性特性,根据液压系统工作原理,应用功率键合图建模理论,建立了阀控非对称缸位置系统的键合图模型.通过模型仿真及试验结果对比,验证了模型的准确性,为应用各种控制策略改善系统性能提供了理论基础.  相似文献   

6.
根据舰船操舵仪及舵机系统的工作要求,分析了双喷嘴挡板电液伺服阀和射流管式电液伺服阀的应用情况,设计了力反馈两级电液比例阀.  相似文献   

7.
电子雕刻机计算机控制系统的设计与实现是一个涉及到光、机、电、印染和印刷工艺等方面的复尔技术问题,本文对我国研制的第一台配有微机控制系统的 DDJ-160型电子雕刻机的结构特点、工作方式和扫描、雕刻进给传动的微机控制系统进行了较详细的研究,给出了控制软件框图,并经反复调试证明系统工作可靠.  相似文献   

8.
目前对内燃机车转速调节控制课题的研究尚欠深入。本文在机车转速调节系统工作原理的基础上,着重分析了其开环、闭环传递函数,并进一步指出了校正装置对开环波德图的影响,为设计合理的校正装置和获得响应速度快、稳定精度高的机液伺服控制系统提供理论依据。  相似文献   

9.
针对涡轮增压器手臂阀焊接工艺的特殊控制要求,设计了基于单片机的自动焊接控制系统。本文介绍单片机控制系统的硬件结构和软件实现,重点介绍由单片机模糊控制器实现对变频器驱动交流电机伺服工作台的高速高精度定位控制。焊接控制系统的应用效果良好。  相似文献   

10.
据传统压力差式波浪能收集器的工作原理和摩擦纳米发电机发电原理,本文提出了潜入式波浪能摩擦纳米发电装置,建立了垂直振荡模拟平台的摩擦纳米发电装置发电性能测试系统,探究其不同条件下的电输出状态.通过数据分析发现,改变PDMS薄膜面积会使装置开路电压最大值增大,短路电流最大值无明显变化;外加载荷越大,装置的开路电压最大值增大...  相似文献   

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