氟化类金刚石薄膜的沉积及性能研究现状

类金刚石薄膜是 80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣。本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍 ,重点介绍在此基础上发展起来的氟化类金刚石薄膜材料 (FDLC) ,包括氟元素对类金刚石薄膜 (DLC)在结构、性能及在沉积工艺上所带来的的影响等。     

ICP-PECVD法制备类金刚石膜

以CH4为放电气体,利用电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP-PECVD)法制备了类金刚石薄膜,使用.FTIR、AFM、台阶仪对薄膜进行r表征,并对薄膜的沉积过程进行了光谱诊断(OES).研究了射频功率和基底在放电腔体中的佗置对薄膜表面粗糙度、沉积速率和硬度的影响.实验结果表明:A位置处薄膜粗糙度随着功率的增加先减小后增大,随着射频功率的升高,薄膜的硬度逐渐增大,沉积速率先增大后减小,而薄膜硬度和沉积速率都随着与线圈中心距离的增加而减小.光谱诊断结果显示,随着功率的升高,Iβ/Iα和CH的强度呈增大趋势.结合上述研究结果,分析了影响薄膜生长的多种因素.     

ICP-PECVD法制备类金刚石膜

以CH4为放电气体,利用电感耦合等离子体化学气相沉积（ICP—PECVD）法制备了类金刚石薄膜,使用FTIR、AFM、台阶仪对薄膜进行了表征,并对薄膜的沉积过程进行了光谱诊断（OES）．研究了射频功率和基底在放电腔体中的位置对薄膜表面粗糙度、沉积速率和硬度的影响．实验结果表明：A位置处薄膜粗糙度随着功率的增加先减小后增大,随着射频功率的升高,薄膜的硬度逐渐增大,沉积速率先增大后减小,而薄膜硬度和沉积速率都随着与线圈中心距离的增加而减小．光谱诊断结果显示,随着功率的升高,Iβ/Iα和CH的强度呈增大趋势．结合上述研究结果,分析了影响薄膜生长的多种因素．     

大块金属玻璃的热稳定性

通过差动热分析（ＤＳＣ）试验测定了Ｚｒ－１０６合金的玻璃转变温度Ｔｇ和初始晶化温度Ｔｘ,利用Ｘ射线和透射电子显微镜（ＴＥＭ）对该合金在Ｔｇ－Ｔｘ温度区间经不同温度和不同时间热处理后试样的显微结构进行了分析,并在Ｔｇ－Ｔｘ温度区间对该合金进行热锻变形,结果表明,该合金的Ｔｇ－Ｔｘ分别为３２５℃和４７０℃,在低于晶化温度Ｔｘ以下热处理几科下不发生晶化,其厚度方向的变形量可达２００％,由此得出Ｚｒ－１０     

采用北美天然沥青提高沥青路面热稳定性的做法和体会

石家庄市十多年的实践证明,采用北美天然沥青对国产道路石油沥青进行改性,操作工艺简单,可明显提高路面的技术性能和使用质量,在技术上和经济上都是可行的。     

磁控溅射外部Cr层对CrN磨损宽度的影响

为了提高CrN涂层耐磨性能,采用磁控溅射技术研究外部Cr层对CrN磨损宽度的影响。通过设置不同载荷、转速、旋转半径研究表面摩擦磨损情况。结果表明,旋转半径增大,离心力作用效果更加明显,其中在转速为300 r/min,旋转半径6 mm时,未溅射Cr层的CrN涂层平均磨损宽度达到945.7μm,且外侧磨损更加严重,相同条件下溅射外部Cr层的磨损宽度为571.2μm,说明外部Cr层在磨损过程中有效抑制表面磨损区域增加。溅射外部Cr层后,在转速为200 r/min时的摩擦系数与表面磨损区域宽度随旋转半径增加而增加。表面磨痕呈犁沟状,磨损机制为磨粒磨损。     

直流脉冲磁控溅射制备ITO薄膜及其光电性能

利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5Pa,Ar/O2 流量比为20:0,溅射功率为250W,膜厚为200nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%.     

直流脉冲磁控溅射制备ITO薄膜及其光电性能

利用直流脉冲磁控溅射法在室温下制备ITO薄膜.通过台阶仪、紫外-可见分光光度计、四探针仪等表征技术,研究了沉积气压、溅射功率,以及Ar/O2流量比等对ITO薄膜沉积速率、光学性能,以及电学性能的影响.研究结果表明,薄膜沉积速率随沉积气压的增大而减小,随功率的增大而增大;方块电阻随气压的增大而增大,随功率的增大而减小;可见光平均透过率主要受O2流量的影响.在沉积气压为0.5 Pa,Ar/O2流量比为20∶0,溅射功率为250 W,膜厚为200 nm时,薄膜的方块电阻为27Ω/□,可见光平均透过率为84.1%.     

新型路基结构复合装置增强高原冻土路基热稳定性能研究

通过对高原冻土层遮阳装置进行改进,分析了遮阳装置的传热热力学理论,为改进其传热通路提供了理论依据,并提出一种新型路基结构复合装置提升高原冻土路基热稳定性.使用三维制图软件对改进前后冻土层路基结构进行建模,之后使用ANSYS仿真软件对改进前后的结构进行热学仿真分析,对比分析改进前后的仿真结果可以发现,新型遮阳装置由于采用...     

双离子束溅射淀积DLC膜的结构分析

用双离子束溅射法在５０℃以下的基底上淀积了类金刚石（ＤＬＣ）膜。对ＤＬＣ膜采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜及拉曼谱仪进行了结构分析。通过对扫描电子显微镜观察，发现在ＤＬＣ膜中存在金刚石微晶。通过透射电子显微镜分析，确定金刚石微晶具有面心立方结构，计算出的晶格常数与标准值基本相同。通过拉曼光谱分析后，进一步验证了薄膜中金刚石微晶的存在并得出了膜中ＳＰ＾３Ｃ－Ｃ键所占的比例。     

Si基扩镓溅射Ga2O3反应自组装GaN薄膜

采用射频磁控溅射工艺在预沉积和预沉积后再分布的扩镓Si基上溅射Ga2O3薄膜氮化反应组装GaN薄膜。用红外透射谱（mR）、X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、选区电子衍射（SAED）和荧光光谱（PL）对样品进行组成、结构、形貌和发光特性的分析。测试结果表明：采用此方法得到六方纤锌矿结构的GaN薄膜。同时显示预沉积的扩镓硅基较预沉积后再分布的扩镓硅基更适合GaN薄膜的生长。     

形变Cu-17．5％Fe原位复合材料热稳定性研究

形变Cu-17．5％Fe原位复合材料在低于400℃退火，其力学性能和电性能变化不大．在高于450℃退火，随加热温度升高，强度和杨氏模量下降，电阻率提高．用扫描电镜观察了Fe纤维形态的变化，测定了Fe纤维断开的有关数据，并进行了数值模拟．结果指出，Fe纤维形状从片状到颗粒状变化可能有三种历程：直接边缘球化；晶界分裂→柱状化→Rayleigh扰动；直接柱状化→Rayleigh扰动．并分析获得其计算模型，经计算比较，和实验值具有很好的一致性．     

废旧塑料改性沥青储存稳定性试验

以4类废旧塑料改性剂与分别经过裂化处理的加工塑料改性剂,采用合理的制备工艺对90#与70#基质沥青进行改性,并采用优化的离析试验分析方法对不同类型废旧塑料改性沥青展开研究,最后基于热分析试验对作用机理进行分析.结果表明:经裂化处理的加工废旧塑料改性沥青的储存稳定性相比原塑料改性沥青得到明显改善;4种通过裂化处理的加工废...     

Effect of LaNiO3 interlayer on the dielectric properties of Ba0.5Sr0.5TiO3 thin film on Si substrate

In this study, (100)-oriented growth of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ (BST) /LaNiO₃ (LNO) stacks was obtained on Pt(111)/SiO₂/Si substrates by r.f. magnetron sputtering. The orientation of the subsequently deposited Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin film was strongly affected by the LNO under layer, and the BST thin film deposited on the (100)LNO-coated Si substrate was also found to have a significant (100)-oriented texture. Effects of LNO interlayer on the dielectric properties of BST thin films were investigated. As a result, the tunability of BST thin film was greatly improved with the insertion of (100)-oriented LNO under layer with proper thickness. Foundation item: the National Key Lab of Nano/Micro Fabrication Technology (No. 9140C 790310060C79) and the National Natural Science Foundation of China (No. 60701012)     

Effect of LaNiO3 Interlayer on the Dielectric Properties of Ba0.5Sr0.5TiO3 Thin Film on Si Substrate

In this study, (100)-oriented growth of Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST) /LaNiO3 (LNO) stacks was obtained on Pt(lll)/SiO2/Si substrates by r.f. magnetron sputtering. The orientation of the subsequently deposited Ba0.5Sr0.5TiO3 thin film was strongly affected by the LNO under layer, and the BST thin film deposited on the (100)LNO-coated Si substrate was also found to have a significant (100)-oriented texture. Effects of LNO interlayer on the dielectric properties of BST thin films were investigated. As a result, the tunability of BST thin film was greatly improved with the insertion of (100)-oriented LNO under layer with proper thickness.     

Hopfield神经网络的全局指数稳定性

通过引入非线性测度的概念，不要求激励函数连续可微、单调非降或有界，并假设自反馈项为非线性，研究了一类Hopfield神经网络平衡点的存在性、唯一性．得到了全局指数稳定性的判据，并给出了收敛率估计式．     

冷再生混合料路面基层水稳性及冰冻稳定性研究

沥青路面结构在使用初期透水性较大,雨季表面水有可能透过沥青面层进入路面基层中。在冰冻地区,由于冬季水分重分布的结果,路面基层可能处于潮湿或过潮湿状态,进入路面结构层的水分能使路面基层或底基层的强度大大降低．导致沥青路面过早破坏。通过对冷再生混合料作为路面基层进行水稳定性和冰冻稳定性研究,分析其路用性能,进而提出一个合理的冷再生路面基层结构,对于工程实践及理论研究皆有一定的参考价值。