沟槽栅IGBT深槽工艺研究

基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。     

矩形沉箱外壁支座加强短筋伸出长度分析

针对矩形沉箱外壁支座处加强短筋伸出长度的问题,以某重力式沉箱码头项目为实例,采用有限元软件计算沉箱构件实际受力情况,分析支座短筋的伸出长度。计算结果显示,对于部分情况,支座加强短筋伸出支座外的长度大于板净跨的1/4。因此,对于矩形沉箱外壁支座加强短筋的伸出长度,不可简单地取规范规定的最小长度,而应通过进一步计算确定。     

曾文水库永久河道放水道防淤改善工程介绍

为改善水库防淤营运功能,以加速水库治理及维持水库营运寿命,将台湾南部之曾文水库永久河道放水道控制闸门由何本阀(Howell Bunger valve)更换为射流闸门,除新设3条隧道分别提供施工维护及通气需求外,配合射流闸门闸室空间需求,将原何本阀闸室往上方扩建,并设置双轨电动吊车,解决何本阀因排砂磨损与空气量不足及后续设备维修更新运输等问题,于台洪期间优先开启射流闸门之设施,排除异重流或浑水潭高浓度泥砂,减少水库淤积与提高水库排砂效益,以提升水库营运操作之安全。     

表面强化后的柴油机汽缸套/活塞环配副性试验分析

为提高柴油机汽缸套/活塞环摩擦副的耐磨减摩性能,延长其使用寿命,文中对经表面强化后的汽缸套、活塞环进行配副,组成9对摩擦副,通过试验,分析比较各摩擦副的摩擦系数、磨痕宽度、失重3个参数,得出最佳配副性组合为:气环镀CrTiAlN/缸套激光淬火+渗硫.     

带纵骨实肋板式耐压液舱壳板强度计算方法研究

本文把耐压液舱结构看成一弹性整体，先对其进行整体求解，然后再对耐压液舱壳板按具有初始膜应力的混合边界问题求解。结果表明：在弹性范围内，本文方法计算值与有限元计算值及实验值吻合较好；在弹塑性范围内，本文对耐压液舱壳板边界约束的处理比文献「１」方法更符合弹塑性状态时其边界约束的真实状况。     

高压旋喷注浆技术在高速公路软基治理中的应用

论述高压旋喷桩的机理、设计方法、施工关键技术及其在广东某高速公路路基灾害治理中的应用。实践证明,高压旋喷桩加固下卧层以下软弱地基是一项安全、有效的技术,可有效地提高路基承载力,防止路基工后沉降,其经验可供类似工程参考。     

船用V型高速柴油机相继增压计算分析

建立了某船用V型柴油机采用两台增压器相继增压的计算模型,为验证计算模型、程序和所选参数的正确性,对常规增压进行了计算,计算与试验结果基本一致.对两台增压器相继增压进行计算分析的结果表明,采用相继增压可明显改善该型机低工况性能,扩大了该机作为船用主机的运行范围.     

船舶压载水污染的控制和管理

压载水对现代船舶的安全航行是绝对必要的，但它对生态、经济和人类健康构成了严重威胁，排放船舶压载水被全球环境基金组织确认为危害海洋的四大威胁之一.为防止压载水带来的生物污染，除了在深海更换压载水外，IMO还提出了将来可能采用的一些方法，分析不同处理方法的经济性。     

直线电机运载系统轮轨病害整治

广州地铁5号线采用由直线电机驱动的列车,在运营中出现了较为严重的轨道波磨及车轮圆跳动,造成了车辆走行部的圆跳动发展迅速、电机高度调整装置失效、电机绝缘失效等一系列问题,经过诸如转向架轮轴改造、小曲线段加装轨旁轮轨摩擦控制装置、有针对性的轨道打磨等系统性的整治,轮轨病害初步缓解。     

客货共运线路轨道不平顺不利波长的分析研究

我国铁路主要是客货共运线路,客车的速度可达140～160km/h,而货车的速度只有80km/h左右。货车与客车的车辆结构动力性能存在较大的差异,所以对轨道结构的几何形位的要求也有所不同。为了使客车和货车都能在同一线路上安全、平稳地运行,则必须对轨道不平顺与车辆运行平稳性和安全性之间的关系进行研究。本文利用计算机动力模拟仿真计算轨道不平顺激扰下客车和货车的动力响应,对轨道随机不平顺与不同类型车辆的车体加速度之间的关系进行了相干分析和功率谱分析,计算得出了引起客车和货车较大动力响应的轨道不平顺不利波长。然后对两者的不利波长进行了分析,归纳出了客货共运线路的轨道不平顺不利波长范围,为现场轨道不平顺的养护维修和管理提供了理论和实践指导。