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91.
基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。  相似文献   
92.
阐述一种既快又准的批量获取示坡线的方法,并基于ARX语言实现该功能。通过实验分析,表明该方法提高了生产效率,减少了作业人员的工作量,具有较高的实用价值。  相似文献   
93.
速度阀是减速顶工作的指挥中心,它所确定的临界速度准确与否,直接影响减速顶的工作性能和现场调车作业的安全与效率,从理论上分析临界速度的计算方法及计算公式是十分有意义的。通过分析对液流阻力的计算和速度阀的力平衡方程式,最后比较详细地推导出临界速度的数学模型,同时提出计算的方法以及影响临界速度误差的主要参数。  相似文献   
94.
为推进城市用地与交通的融合发展,提高城市公共交通用地综合开发效率,促进城市公共交通用地综合开发更好地适应城市交通发展需求,采用文献检索法、专家咨询法及实地调研法等开展研究。首先,对北京市客运交通枢纽综合开发、车辆段上盖物业、轨道交通站点综合开发及公交场站用地综合开发四大类城市公共交通用地综合开发项目发展现状进行了剖析。然后,结合规划、建设及投融资等方面存在的主要问题,分析了城市公共交通用地综合开发项目推进困难的症结所在。最后,提出了相关政策建议:推出城市公共交通用地综合开发统一指导意见;优化土地出让政策,最大化利用公共交通用地;创新投融资机制,减轻政府及企业投资压力;搭建市级平台,统筹协调相关工作。  相似文献   
95.
通过对氯盐融雪剂腐蚀石家庄-安阳高速桥梁混凝土构件的病害调查,系统分析了氯盐中C1-腐蚀混凝土和钢筋的机理,详细阐述了氯盐融雪剂对桥梁混凝土构件的危害,同时提出了实践中有针对性和可操作性的具体防治措施和对策,为保护桥梁构件,延长桥梁使用寿命有着积极而重要的意义.  相似文献   
96.
关于航道整治建筑物作用区水沙运动以及由此产生的建筑物变形和损毁的研究是航道治理研究的重要组成部分,有着重要的现实意义。文章对长江中游航道整治建筑物中丁坝、护滩(底)和护岸3种形式建筑物结构形式及作用区水沙特性研究进行了梳理和总结,发现目前相关理论推导和数值计算的成果众多,列举了代表性较强的研究成果,从研究角度和考虑因素两方面对比分析了已有成果,提出今后可在床面冲刷位置和规模综合作用下的破坏阈值问题、床面冲刷发展模式及修复方式、极端水文条件对建筑物运行损毁的影响等方面继续深入研究。  相似文献   
97.
排水系统水力模型在排水工程项目中的应用越来越广泛,制定一套关于排水系统水力模型的标准和规范是必要的。根据编制《排水系统水力模型建模及交付技术导则》中的要求,以集水区和降雨作为研究对象,采用水力模型对集水区和降雨进行建模模拟,分析研究集水区和降雨对排水系统水力模型的影响,证明《排水系统水力模型建模及交付技术导则》中关于集水区和降雨在排水系统水力模型中的建模要求的合理性,为导则的后续应用提供了有力的技术支持,也为后续排水系统水力模型的建设提供相应的指导。  相似文献   
98.
基于GML的铁路地理信息系统共享中间件技术   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用GML-XML技术,在异构分布式地理信息数据之上,建立地理信息共享中间件,以屏蔽不同数据源的差异,使得来自于分布式数据源的异构空间数据融合为具有一致结构的数据,以进行统一管理,并能够满足铁路运输业务的特殊需求.通过B/S架构,用户使用浏览器可以方便、高效地访问铁路空间地理信息数据.  相似文献   
99.
针对铁路牵引变电所运行状态的计算机安全监控,提出了在电气主接线图中用"色流"代替电流仿真显示的新概念.根据这种思想研究了仿真数学模型、计算方法,结合具体牵引变电所的电气主接线,开发了计算机监控软件.研制的安全监控系统实际运行表明,监控计算机屏幕上的电气主接线图能够实时反应设备运行状态,设备带电情况显示更逼真、操作响应速度快,大大提高了牵引变电所运行状态监控的可视性和可靠性.  相似文献   
100.
基于嵌入式Web Server结构的远程监控系统   总被引:5,自引:0,他引:5  
介绍一种基于嵌入式Web Server结构的监控系统硬件和软件实现技术.监控系统上层接入本地局域网,其底层与I/O节点相连,允许授权的用户在网络内任意一点应用浏览器访问该系统,并实现对下层设备的监控.该系统已成功用于"铁路车号自动识别系统"设备故障的远程控制处理.  相似文献   
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