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71.
72.
基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
73.
阐述一种既快又准的批量获取示坡线的方法,并基于ARX语言实现该功能。通过实验分析,表明该方法提高了生产效率,减少了作业人员的工作量,具有较高的实用价值。 相似文献
74.
刘丽娜 《减速顶与调速技术》2013,(1):1-5
速度阀是减速顶工作的指挥中心,它所确定的临界速度准确与否,直接影响减速顶的工作性能和现场调车作业的安全与效率,从理论上分析临界速度的计算方法及计算公式是十分有意义的。通过分析对液流阻力的计算和速度阀的力平衡方程式,最后比较详细地推导出临界速度的数学模型,同时提出计算的方法以及影响临界速度误差的主要参数。 相似文献
75.
通过对氯盐融雪剂腐蚀石家庄-安阳高速桥梁混凝土构件的病害调查,系统分析了氯盐中C1-腐蚀混凝土和钢筋的机理,详细阐述了氯盐融雪剂对桥梁混凝土构件的危害,同时提出了实践中有针对性和可操作性的具体防治措施和对策,为保护桥梁构件,延长桥梁使用寿命有着积极而重要的意义. 相似文献
76.
基于马尔可夫链的极值波高预测 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了由日最大波高系列估算设计极值波高时,相邻日最大波高间的相关性对极值预测的影响,从日最大波高系列遵从马尔可夫链的假定出发,考虑到国内外经常采用对数一正态分布的韦布尔分布拟合波高长期分布的现实,本文用解析法求解了对数一正态分布情况下的极值预测。同时,对解析法难以求解的非正态随机变量情况(如韦布尔分布),用计算机随机模拟方法求解其极值预测,用上述两种方法对北大西洋和北海有关日最大波高系列的预测 相似文献
77.
水火弯板温度场的数学模型 总被引:5,自引:1,他引:5
本文分析了水火弯板的热过程特点。应用移动热源理论,建立了求解薄板、中厚板和厚板温度场的数学模型。考虑分布热源和材料热物性对温度场的影响,研究了求解温度场的数值方法。最后介绍了水火弯板瞬态温度分布的测试原理,给出实验和计算结果,并分析了模型的误差原因。 相似文献
78.
软基处理过程中边桩位移观测的两种常用方法 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍软基处理过程中边桩位移观测的两种常用方法的操作及其各自的特点和实际操作时应注意的一些事项。 相似文献
79.
80.
在认真分析京唐港区面临发展形势和挑战的基础上,结合现状条件和作者在京唐港区多年的工作实践,从发挥唐山港口投资有限公司作为京唐港区国有资产出资人代表的职责和作用方面,阐述了"十一五"期间京唐港区实现跨越式发展的主要思路和工作措施. 相似文献