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基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
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基于工程实例对软基中某无铰拱桥桥台位移进行有限元分析,讨论分析过程中特殊非线性的处理方法,并在原设计基础上对桥台进行优化分析。研究结果表明:优化后桥台位移减小,且与实测值吻合,结构内力分布更加均匀,结构处于安全状态,从而也证明本文分析的合理性,所提出的优化变更方案是切实可行的,达到了预期的效果,对同类工程问题具有参考价值。 相似文献
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轮对纵向振动问题是一个长期以来被忽略的内容,研究发现轮对纵向振动虽然对整车的横向稳定性影响不大,但却对整车的垂向动力学性能和轮轨动态作用力有很大的影响。进一步分析发现,剧烈的轮对纵向振动,与轨道的横向和高低不平顺有关。在光滑的轨道上不会发生纵向共振。提出通过改变一系垂向减振器的布置方式可以抑制轮对的大部分纵向振动,减小轮轨动态作用力,延长轮对和钢轨的使用寿命。 相似文献
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娄底站驼峰采用TW-1型组态式驼峰自动控制系统。某日,当解编车辆溜放至12道时,调速终端显示11~16道“手动干预”,而实际情况是车站值班员并未手动干预,12道减速器不能自动控制,造成了钩车超速、撞重钩的事故。约10s后,“手动干预”消失,设备恢复正常。 相似文献
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采用带状态观测器的气隙-速度-加速度反馈控制系统,在多体系统仿真软件SIMPACK平台上,考虑悬浮系统、电磁系统及控制系统的耦合作用,建立单磁铁-轨道梁-控制器的综合模型,模拟磁浮列车在弹性轨道梁上静止悬浮的过程,分析轨道梁的特征对车轨耦合振动的影响,研究共振的产生及解决方法,为磁悬浮列车的整车静止悬浮稳定性分析提供依据。 相似文献
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