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基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
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阐述一种既快又准的批量获取示坡线的方法,并基于ARX语言实现该功能。通过实验分析,表明该方法提高了生产效率,减少了作业人员的工作量,具有较高的实用价值。 相似文献
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刘丽娜 《减速顶与调速技术》2013,(1):1-5
速度阀是减速顶工作的指挥中心,它所确定的临界速度准确与否,直接影响减速顶的工作性能和现场调车作业的安全与效率,从理论上分析临界速度的计算方法及计算公式是十分有意义的。通过分析对液流阻力的计算和速度阀的力平衡方程式,最后比较详细地推导出临界速度的数学模型,同时提出计算的方法以及影响临界速度误差的主要参数。 相似文献
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通过对氯盐融雪剂腐蚀石家庄-安阳高速桥梁混凝土构件的病害调查,系统分析了氯盐中C1-腐蚀混凝土和钢筋的机理,详细阐述了氯盐融雪剂对桥梁混凝土构件的危害,同时提出了实践中有针对性和可操作性的具体防治措施和对策,为保护桥梁构件,延长桥梁使用寿命有着积极而重要的意义. 相似文献
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排水系统水力模型在排水工程项目中的应用越来越广泛,制定一套关于排水系统水力模型的标准和规范是必要的。根据编制《排水系统水力模型建模及交付技术导则》中的要求,以集水区和降雨作为研究对象,采用水力模型对集水区和降雨进行建模模拟,分析研究集水区和降雨对排水系统水力模型的影响,证明《排水系统水力模型建模及交付技术导则》中关于集水区和降雨在排水系统水力模型中的建模要求的合理性,为导则的后续应用提供了有力的技术支持,也为后续排水系统水力模型的建设提供相应的指导。 相似文献
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基于嵌入式Web Server结构的远程监控系统 总被引:5,自引:0,他引:5
介绍一种基于嵌入式Web Server结构的监控系统硬件和软件实现技术.监控系统上层接入本地局域网,其底层与I/O节点相连,允许授权的用户在网络内任意一点应用浏览器访问该系统,并实现对下层设备的监控.该系统已成功用于"铁路车号自动识别系统"设备故障的远程控制处理. 相似文献
80.
Web Service是下一代Web的标志性技术,在企业事务处理等方面有着巨大的应用前景.介绍了Web Service及其体系结构,提出利用Web Service技术设计实现铁通信息门户的解决方案. 相似文献