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极紫外光刻(EUVL)技术能突破30 nm技术节点、可应用于大规模工业生产,是下一代光刻技术的核心之一。极紫外(EUV)光源是EUVL的源头,寻找可满足EUVL的合适光源是解决问题的关键,世界上许多发达国家都在积极探索EUVL光源的研究。属于4种气体放电方式之一的毛细管放电具有较高的能量转换效率,将毛细管放电装置应用于EUV光源研究存在很多优势。基于国家长期发展战略的需要和紧跟世界科技前沿的策略,我国建立了国内首台毛细管放电EUVL光源演示装置。经放电试验和测谱分析,装置可满足EUVL光源研究的需要。 相似文献
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道路交通事故中道路条件因素影响分析 总被引:3,自引:0,他引:3
本文首先采用能量理论分析了道路交通系统中道路因素包含范围,指出了目前道路交通事故原因统计中的不足之处,然后通过计算得出道路条件因素应占有更大比例,基于此,最后给出了预防道路交通事故的措施。 相似文献
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1个适应性良好的道路交通事故预测模型对于交通管理、控制和有关规划设计起着重要作用,文中根据交通事故发生的时空性和多因素性,利用ARIMA模型良好的时间序列线性拟合能力和FNN强大的非线性映射能力,通过最优加权方法确定模型权重,建立ARIMA和FNN的组合模型,并对我国道路交通事故进行预测。结果表明:这一模型可以提高事故预测精度,是1种有效的事故预测模型。 相似文献
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张兴强 《湖北汽车工业学院学报》2010,24(1):46-49
毛细管放电类氖氩等离子体产生的46.9 nm激光是亮度很高的相干光源,有着重要应用前景。影响激光输出的放电参量和制约因素较多,其中毛细管内径属于后者。实验研究了内径分别为3 mm和4 mm的氧化铝陶瓷毛细管输出激光的情况,结果表明在满足3 mm内径的毛细管能输出较强的激光信号的最优放电条件下,4 mm内径的毛细管没有输出激光信号。分析实验现象并与理论结论对照,发现4 mm内径的毛细管中氩等离子体被箍缩到出光状态,主脉冲电流应提高4/3倍,达到约53 kA。 相似文献