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基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
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阐述一种既快又准的批量获取示坡线的方法,并基于ARX语言实现该功能。通过实验分析,表明该方法提高了生产效率,减少了作业人员的工作量,具有较高的实用价值。 相似文献
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刘丽娜 《减速顶与调速技术》2013,(1):1-5
速度阀是减速顶工作的指挥中心,它所确定的临界速度准确与否,直接影响减速顶的工作性能和现场调车作业的安全与效率,从理论上分析临界速度的计算方法及计算公式是十分有意义的。通过分析对液流阻力的计算和速度阀的力平衡方程式,最后比较详细地推导出临界速度的数学模型,同时提出计算的方法以及影响临界速度误差的主要参数。 相似文献
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通过对氯盐融雪剂腐蚀石家庄-安阳高速桥梁混凝土构件的病害调查,系统分析了氯盐中C1-腐蚀混凝土和钢筋的机理,详细阐述了氯盐融雪剂对桥梁混凝土构件的危害,同时提出了实践中有针对性和可操作性的具体防治措施和对策,为保护桥梁构件,延长桥梁使用寿命有着积极而重要的意义. 相似文献
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通过大连华能电厂的循环水取水口工程实例,对不同的大型带孔沉箱结构进行了结构和经济效益的分析比较,以期推广受力性能较好、施工方便可行、经济效益较好的新型沉箱结构。 相似文献
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堤防水泥固化培土强度的试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
水泥固化土是近年来用于堤防防渗、提高边坡稳定性及提高抗冲刷能力的一种新技术,为了提高水泥土的应用水平,通过室内试验研究了水泥土的无侧限强度与水泥掺人比、水灰比、龄期的关系,认为满足工程应用的最佳水泥掺量比大于8%。 相似文献
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