沟槽栅IGBT深槽工艺研究

基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。     

抗滑桩设计锚固长度影响因素分析

文章分析了岩层地基横向容许承载力[σH]、土层地基系数随深度变化的比例系数m、土层内摩擦角φ及地面横坡对抗滑桩锚固段长度H2的影响程度和影响规律,对工程设计中相关参数的确定和计算方法的选取提供了参考依据。     

直线电机地铁车辆转向架

介绍了直线电机地铁车辆转向架的功能和组成、径向转向架的采用、直线感应电机悬挂技术、直线感应电机气隙调节装置,最后提出了目前直线电机地铁车辆转向架设计建议。     

铁路客运专线接触网防雷研究

研究目的：我国客运专线建设速度加快，所经地区地理、气象、气候条件差别较大，情况复杂，如果接触网不设避雷线，易遭受雷击引起损坏。为保证接触网运行的高可靠性，在分析德国、日本接触网防雷措施的基础上，结合我国电气化铁道现状，提出广深线接触网系统防雷的改建建议。通过分析和理论计算，对客运专线接触网系统防雷进行研究。 研究结论：针对电气化铁道中部分线路遭受雷击较频繁的现状，对广深线接触网遭受雷击跳闸进行了统计分析，建议广深线全线架设架空地线，架空地线采用柱顶方式安装。在强雷区应设置避雷线，对客运专线应切实做好避雷器和避雷线的接地，保障避雷设施正常运行。     

参数空间变异性的黄土边坡稳定性分析

根据Vanmarcke提出的随机场理论，描述土性参数的空间变异性，利用边坡分析理论建立了黄土边坡的稳定计算公式，通过算例，分析了岩土参数变异性对黄土边坡稳定的影响。     

浅谈高速公路机电系统的防雷

高速公路机电系统既有强电设备又有大量弱电设备,极易遭受雷击,造成整个系统或部分设备损坏,因此机电系统的防雷问题应受到广泛的重视,介绍了高速公路机电设备防雷措施.     

TYJL-ADX计算机联锁系统驱动采集电源故障分析

应用TYJL-ADX计算机联锁系统驱动采集电源供电原理,对两例驱动采集电源故障进行分析,提出改进及维护建议。     

铁路隧道软弱围岩大断面机械化施工经济性研究与分析

为分析铁路隧道软弱围岩大断面机械化施工经济性的影响因素，以及各因素的影响程度，依据郑万高铁软弱围岩大断面机械化施工和普通机械化施工（台阶法）2套设计图的工程量，结合现行铁路造价标准与部分软弱围岩大断面机械化配套工艺单价分析，编制3套概算方案从工程量优化和工艺工法变化2个方面进行对比研究。研究结果表明： 1）影响大断面机械化施工经济性的主要因素是超前加固； 2）Ⅳa、Ⅳb、Ⅴa级围岩大断面机械化施工较普通机械化施工延米概算指标分别增长了-9.41%、10.81%和6.24%； 3）Ⅳ、Ⅴ级围岩大断面机械化施工较普通机械化施工月进尺分别提高了9.33%和22.22%，体现出一定的综合经济性。     

大跨度箱拱单基肋吊装合龙强度和稳定分析

以主跨130m的海螺沟大桥为对象，应用有限元软件对设置侧向缆风索的箱拱单基肋吊装合龙强度和稳定性进行计算分析，为大跨径箱拱单基肋吊装合龙技术的应用进行理论探索和实践。     

桂梧航道工程GPS控制网的设计与应用

GPS技术在交通水利等行业的勘察设计中已得到广泛应用,用其建立大区域首级控制网已基本取代了传统的布网方式,具有布网方便、精度高、费用省等特点。结合具体的工程实例,系统介绍带状GPS工程控制网的设计、数据采集、基线向量解算及网平差的全过程,并总结一些有益的经验。