不同注入剂量和能量对氧化钛薄膜结构的影响

为研究离子注入以及真空退火对氧化钛薄膜的结构和性能影响,利用非平衡磁控溅射技术,在单晶硅基体上沉积得到了金红石氧化钛薄膜,在此基础上注入磷离子,并进行真空退火处理.研究结果表明:注入剂量和能量的增加,使得氧化钛薄膜的晶体结构损伤程度加剧;真空退火后,未注入与离子注入的薄膜Ram an峰均出现红移和加宽现象,薄膜能带结构因氧缺位及低价钛而产生的变化,导致薄膜的方块电阻逐渐降低,电阻可降至100~200Ω/cm2.     

有织构TiC渗层内三维宏观应力梯度分布的研究

本文在综合研究前人理论的基础上,提出用侧倾装置的 H 晶面法或多重因子晶面法,根据所测晶面的 X 线弹性常数来测定有织构的 TiC 渗层内三维宏观内应力及三维宏观加权平均内应力梯度分布和精确测定无应力的2θ_0。本法可适用于测定各种渗层、涂层材料表面薄层内外的三维宏观内应力梯度分布。