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301.
302.
基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
303.
深水钻井隔水管磨损评估及保护措施分析 总被引:2,自引:0,他引:2
结合两起深水钻井隔水管磨损事故后果分析,对钻杆转动造成的隔水管磨损机理进行了探讨和定量评估.分析了底部挠性接头角度、深水海流对隔水管磨损的重要影响,探讨了相应的改进措施,并介绍了两种磨损减缓装备可供选用. 相似文献
304.
基坑施工对盾构隧道的影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
运用同济大学曙光软件,采用荷载结构法和盾构隧道修正惯用法,以广州地铁黄沙车站上建设物业商住发展项目为研究背景,计算了隧道外壁侧向土压力、水位降、土层基床系数和隧道上方超载四种因素不同组合工况下的隧道结构受力,分析了基坑施工对紧邻地铁盾构隧道的影响.研究结果表明,影响紧邻盾构隧道受力的最主要因素为隧道外壁侧向土压力释放程度,当外壁侧向土压力由静止土压力进入主动土压力状态,将导致隧道弯矩增大143%,并致使管片开裂,环缝接头张开增量1.36 mm,影响隧道正常使用,在其它不利因素共同作用下,将危及隧道结构安全. 相似文献
305.
潘栋杰 《铁道机车车辆工人》2008,(11):32-32
美国西太平洋国家实验室的研究人员研发了一种陶瓷基的新喷涂材料,它可以防止铁和超耐热合金在空气、液体、水蒸汽以及其他恶劣环境中腐蚀、氧化、渗碳和硫化。新的涂料黏合在金属基体上,经济、工艺简单并且涂层是有弹性的。因为这种新涂料的涂覆温度明显低于传统的陶瓷涂层所需要的温度,所以新的技术可以节约能源并且减少有害的排放。 相似文献
306.
307.
廖南平 《变流技术与电力牵引》2008,(6):10-12
针对热敏电阻温度传感器应用中存在的非线性问题,提出了应用正交基(0BF)神经网络进行非线性补偿的方法。研究结果表明,OBF神经网络非线性补偿算法具有补偿精度高、计算量小的优点,因而是一种有效的非线性补偿方法。 相似文献
308.
309.
黄土软基具有饱和度高、强度低、无湿陷性的特征。本文在归纳总结水泥搅拌桩分类与特点的基础上,以甘肃省兰州至海石湾高速公路黄土软基路段的处治为工程实例,分析了土工格室加筋配合水泥搅拌桩综合处治技术在软基路段的应用。通过现场静载荷试验,得出地基土层未达到极限状态,试验结果理想,并对其原因进行了分析研究,为今后在同类地区进行地基工程的处治提供借鉴。 相似文献
310.
随着社会经济的飞速发展,城市快速轨道工程建设大量涌现,而由于某些地区地质成因的独特性质,广泛分布着沉积的软黏土,其软土成分主要为淤泥质黏土、有机质黏土,含大量有机质,局部夹砂层,层次多,埋深范围大,厚薄不均,对工程影响较大。因此,必须对软土地基进行相关的软基处理技术,才能满足工程的需要。 相似文献