反应离子刻蚀工艺中颗粒异常分析与改善

在使用反应离子刻蚀(RIE)工艺制造集成电路中,金属刻蚀后原介质层产生密集黑色颗粒物。采用了隧道扫描电镜(STM)的方法,对样片进行观测分析,结果表明该黑色颗粒为碳化后的胺类副产物。通过对反应过程的分析研究,确定了该问题产生的原因。为了解决该问题,在不改变工艺压力和温度的情况下,调整射频功率来提高反应效率。调整完成后进行了实验验证,结果表明该方法切实有效,颗粒问题得到了明显改善。     

粗集料性能对沥青混合料高温性能的影响

为明确沥青混合料中粗集料的表面特性及几何形状对高温性能的影响机理,进而为集料选择及性能评定提供参考,结合当前沥青混合料高温性能的研究状况,通过大量室内试验,分析了粗集料表面纹理、棱角性、扁平颗粒含量对沥青混合料高温性能的影响.研究结果表明:粗集料表面纹理与内摩擦角、动稳定度呈线性关系,表面纹理越大,动稳定度越高;平均棱角性系数大于14.5%时,沥青混合料动稳定度提高幅度明显;粗集料扁平颗粒含量越高,其混合料的高温稳定性越差,同时不同级配条件下,扁平颗粒含量对混合料高温性能影响程度不同,骨架型级配最为敏感.     

消息岛

本田社长福井威夫宣布,搭载新型清洁柴油引擎i-DTEC的Acura（讴歌）车型预计2009年在北美市场推出。这款清洁柴油引擎i-DTEC能有效减少尾气中的氮氧化物和颗粒污染物的排放量,无需安装尿素存储装置就能使尾气排放符合美国环保局（EPA）公布的排放标准。猎豹越野驾驶训练营活动在广州拉开帷幕。车迷在长丰猎豹车队菁名车手刘斌的指导下,     

废旧橡胶轮胎颗粒-水泥改性强膨胀土的长期路用性能研究

为研究废旧橡胶轮胎(WRT)颗粒联合水泥改性强膨胀土作为路基填料的长期力学性能，采用不同掺量(3%、6%)的WRT颗粒联合水泥(3%),对广西宁明强膨胀土进行改性处理。对改性前后的试样开展扫描电镜(SEM)、核磁共振(NMR)等微观试验，对经历干湿循环作用后的改性膨胀土试样开展动、静三轴等宏观试验，测定其动回弹模量M_R及固结不排水抗剪强度，着重研究了干湿循环次数和WRT颗粒掺量对改性后强膨胀土路用力学特性的影响。结果表明：(1)改性膨胀土由于水泥的水化反应产生颗粒团聚作用，加之WRT颗粒的掺入，使其大孔隙增加，结构密实度降低；(2)WRT颗粒掺量一定时，随着干湿循环次数的增加，改性膨胀土的动回弹模量M_R表现出先增大后大幅减小的特点，其剪切破坏形态由塑性破坏向脆性破坏转变，应力～应变曲线由应变硬化型逐渐转化为应变软化型，抗剪强度有所增大；(3)M_R随着WRT颗粒掺量的增加而降低，但随围压σ_c的增加而增大，抗剪强度随WRT颗粒掺量的增加而下降。     

吹填工程泄水口土颗粒流失控制相关性计算

吹填造陆工程中存在混合土质，本文针对淤泥在地基处理时沉降大的问题，对吹填土临界粒径的土颗粒沉降速度、流径、泄水口之间的关系进行研究，采用斯托克斯定律得出临界颗粒值的理论沉降速度。将流径、泄水口流速与颗粒沉降速度相结合，设置排出临界粒径土颗粒的泄水口宽度。以薄壁堰为例，其他堰体可采用相应的流量公式进行计算。通过对临界条件的分析和计算，处理吹填施工和地基处理之间的矛盾，寻求流失量控制的合理薄壁堰参数，为实际工程应用提供参考。     

抛石基床振动夯实离散元数值模拟分析

针对高频液压振动夯实抛石基床密实机理与施工参数优化问题，基于振夯试验条件及结果，建立合理的颗粒离散元模型。分析夯沉量、基床孔隙比和竖向应力，并分析不同激振力和振动频率作用下的基床振动响应影响规律。结果表明：1)夯沉量在初始阶段急剧增大，随后逐渐趋于平缓。振夯作用下抛石基床竖向应力沿深度基本呈线性变化。2)最大激振力为150 kPa时，基床浅层达到较好的振动密实效果。而对于基床深层块石，激振力越大振动密实效果越好，即最大激振力为200 kPa效果较好。3)对于基床不同深度处的块石，振动频率25 Hz达到较好的振动密实效果。     

冻融循环下橡胶-砂胶结材料力学特性试验

在季节性冻土区，冻融作用将改变桩周土体的强度，并诱发桩基发生病害，研制桩周土体置换材料，探明温度及冻融循环对其力学特性的影响机理，对于季节性冻土区桩基冻融与冻胀病害的防治非常必要。利用橡胶颗粒、砂和聚氨酯胶黏剂制作试样；开展不固结不排水三轴压缩试验，获得不同条件下橡胶-砂胶结材料试样的应力-应变曲线；并通过非线性拟合和回归分析，建立试样切线模量和切线泊松比与轴向、径向应变之间的拟合关系式；据此分析了橡胶-砂胶结材料试样在不同的冻融循环次数、温度及围压等条件下的力学特性。结果表明：橡胶-砂胶结材料试样的应力-应变曲线没有峰值点，为典型的应变硬化型材料；橡胶-砂胶结材料的切线模量介于2.0～9.0 MPa之间，温度对试样破坏强度和切线模量的影响较大，而冻融循环次数和低围压对试样破坏强度和切线模量的影响相对较小；橡胶-砂胶结材料试样的切线泊松比介于0.50～0.75之间，径向应变越大，切线泊松比也越大。相对而言，切线泊松比受冻融循环次数、温度及低围压的影响并不明显，可忽略不计。橡胶-砂胶结材料有望为季节性冻土区桩基冻融与冻胀病害防治提供支撑。     

粒径对微生物固化砂土抗风蚀扬尘能力的影响

为探究颗粒粒径对微生物固化砂土抗风蚀能力的影响，选用4种不同粒径范围的土样，通过风洞试验以及表面强度、碳酸钙含量测定等试验，从宏观角度分析粒径对微生物固化砂土抗风蚀能力的影响；采用SEM扫描电镜观测，从微观角度对微生物固化砂土的作用机理进行研究。结果表明：颗粒粒径较小的土样，孔隙面积和孔喉直径较小，更易发挥碳酸钙晶体的填充和胶结作用，土体表面形成的固结层更加密实，抗风蚀能力更强且时效性更好。     

沥青路面智能压实技术研究动态

随着道路施工机械化、信息化与数字化集成水平的提高，沥青路面智能压实技术也成为研究与应用热点。有效检测沥青路面压实状态，并且能够准确判别与控制压实质量是实现压实“智能化”的关键，也是实现科学提升路面路用性能和使用寿命的基础。从沥青路面智能压实质量控制原理上进行分类讨论，主要包括机械振动响应、雷达反射波以及智能颗粒细观响应。紧密结合工程实际分析优缺点，为后续沥青路面智能压实的技术发展方向提供借鉴。     

FBC对柴油机颗粒捕集器性能的影响

为了研究燃油添加型催化剂（FBC）对柴油机颗粒捕集器性能的影响，分别使用了不添加和添加FBC的燃油对两套柴油机颗粒捕集器（DPF）进行性能及耐久试验。结果表明：FBC不会影响DPF对颗粒物质量及数量的过滤效率；FBC可以有效协助碳烟燃烧，将DPF平衡点温度从350℃降低到325℃，提高DPF的被动再生能力；FBC可以降低DPF的主动再生温度，将DPF上碳烟的起燃温度由600℃降低到450℃以下，提高DPF再生速率及再生效率，从而提升DPF的主动再生性能；FBC可延长DPF的再生周期，提高DOC+DPF系统的耐久性。