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北京地铁国产化列车IGBT牵引逆变器 总被引:6,自引:5,他引:1
介绍了北京地铁国产化列车IGBT牵引逆变器的主要技术参数、主电路、总体结构及其变流器模块的技术特点,阐述了热管散热器的工作原理.列车已在北京地铁13号线投入试运行,该逆变器运行情况良好. 相似文献
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基于Lam 4420反应离子刻蚀(RIE)设备和Cl2气体开发了适用于沟槽栅IGBT的深槽等离子刻蚀工艺。通过调整HBr、O2和SF6等添加气体含量得到了无底切、底角圆滑、槽壁斜度3°左右、深度6μm的沟槽;通过系统优化气体流量、气压、电极间距和RF功率等工艺参数,得到了5%的硅片内不均匀性,刻蚀速率可达800 nm/min。在完成CF4/Ar刻蚀和牺牲氧化等后续工艺后,槽型得到进一步改善。 相似文献
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“十五”国家863计划高速磁悬浮交通技术重大专项验收会干2007年11月17-18日在上海举行。由南车时代株洲变流技术国家工程研究中心承担的国家“十五”863计划高速磁浮交通技术研究重大专项子课题——“7.5MVA IGBT大功率变流器系统研制”与该重大专项一起通过了验收,填补了我国高速磁浮列车牵引供电系统的空白,实现重大关键、技术和设备的突破。 相似文献