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汽车MEMS传感器的发展现状和未来趋势 总被引:1,自引:0,他引:1
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)简称MEMS,是利用微系统设计、微细加工、微型机械组装和封装技术、微系统的表征和测试技术,及微电子技术和微加工技术(包括硅表面和硅体微加工、化学腐蚀或集成电路工艺LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种高性价比、微型化、集成化、智能化的传感器、执行器、驱动器和微系统,并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技学科. 相似文献
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