使用微晶振的扫描近场声显微镜研究

描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。其原理是利用谐振频率为１ＭＨｚ的未封装伸长型晶振作为微力传器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，振动特性发生变化，通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了ＳＮＡＭ的检测机理基础上，设计了ＳＮＡＭ系统，测量时垂直分辨率可达到纳米级。     

基于神经网络的数控转台运动误差补偿技术

利用改进的ＢＰ网络补偿数控台的运动误差，使精度提高６９％，实验表明，这是一条通过智能技术来提高精度的新方法。