基于磁致伸缩换能器阻抗匹配网络的设计

在电磁超声检测中,针对磁致伸缩换能器换能效率低,接收到的信号通常十分微弱的问题,设计了一个在激励线圈和功率放大器之间的阻抗匹配电路,使之可以在30~150 kHz内的能量传输效率增大。通过Smith圆图法确定元器件数值并用阻抗变换得到的公式去验证,设计出阻抗匹配网络。该网络可以增大传输功率,提高激励线圈上的电流。仿真和实验结果表明:增加阻抗匹配电路,可以有效提高激励电流,进而增加电磁力,使得磁致伸缩效果明显,功率传输效率有效提高。     

超大规模集成电路制备中硅衬底抛光液研究

在分析硅衬底的抛光机理的基础上，主要讨论了抛光液对硅衬底抛光质量的影响，同时对抛光液中各成分的选择作了分析研究，采用不含钠离子的有机碱和高效的无钠螯合剂减少了金属离子的玷污，对活性剂影响吸附的作用机理进行了分析，得到了一种小粒径、高速率和低损伤的无钠抛光液。